Die Parteien streiten in der Revision noch über einen Anspruch des Klägers auf Annahmeverzugsvergütung für die Zeit vom 12. Mai bis zum 31. Dezember 2022. Hintergrund sind die Regelungen zum einrichtungsbezogenen Immunitätsnachweis nach § 20a IfSG in den bis zum 31. Dezember 2022 befristet geltenden - soweit hier erheblich - im Wesentlichen gleichlautenden Fassungen vom 18. März bzw. 16. September 2022 (im Folgenden IfSG aF).