Nichtzulassungsbeschwerde - überlanges Kostenfestsetzungsverfahren - Rechtsanwaltsinteresse - Möglichkeit der Geldentschädigung - Wiedergutmachung auf andere Weise - Abwägungsvorgang des Tatsachengerichts - unterschiedliche Abwägungsergebnisse der Landessozialgerichte - grundsätzliche Bedeutung einer Rechtssache - Divergenz - sozialgerichtliches Verfahren - Urteil ohne mündliche Verhandlung - Abgabe des Urteils an die Geschäftsstelle - Fünfmonatsfrist - Darlegungsanforderungen